Bahan substrat seramik penebat

Akibatnya, untuk membuat penebatsubstrat seramik, ia dikehendaki mempunyai kadar pengaliran haba yang tinggi dan kekuatan mekanikal. Sebagai bahan untuk penebat substrat seramik, ia boleh disenaraikan, seperti aluminium nitrida dan silikon nitrida, tetapi untuk penebatsubstrat seramikmenggunakan aluminium nitrida, kerana kadar pengaliran haba adalah tinggi tetapi kekuatan mekanikalnya rendah, mudah untuk menghasilkan keretakan tersebut. Modul semikonduktor kuasa untuk struktur jenis ini yang digunakan untuk mengenakan tegasan besar pada substrat seramik. Oleh itu, dalam literatur paten 1 berikut, contoh plat silikon nitrida dihebahkan secara umum untuk mengurangkan nisbah fasa kaca dengan kadar pengaliran haba yang rendah dan meningkatkan kekonduksian terma plat silikon nitrida dengan kadar pengaliran haba yang rendah. Berikut adalah contoh pertama yang diketahui teknik ini;

Di samping itu, dalam literatur paten 2 berikut, contoh silikon nitridaseramikbahan didedahkan secara terbuka untuk membuat intrinsik alam kristal, supaya menjadikan butiran silikon nitrida digabungkan dengan lebih kukuh melalui fasa kristal intra-kanta. Untuk meningkatkan keamatan. Teknologi adalah contoh kedua yang diketahui; sebagai tambahan, dalam literatur paten 3 berikut, contoh penerbitan komponen pelesapan haba silikon -nitrida tersedia secara umum. Bahagian pelesapan haba silikon -nitrida. Teknologi adalah contoh ketiga yang diketahui; Selain itu, dalam literatur paten 4 berikut, terdapat contoh badan pensinteran silikon nitrida. Kacau sindiran dengan impak yang sangat baik.